Quarzbehälter

Unsere Megatherm™-Linie von Hochtemperatur-Quarzbädern wurde für das Ablösen von Resists und das Ätzen von Siliziumnitrid entwickelt.

MEGATHERM-UMWÄLZBAD

Das Megatherm™-Hochtemperatur-Quarz-Umwälzbad wird aus reinem Quarzglas für Umgebungen mit geringer Verschmutzung und Hochtemperaturanwendungen hergestellt.

MEGATHERM-HOTPOT UND –NITRIDÄTZSYSTEM

Der Megatherm™-Hochtemperatur-Quarz-Hotpot ist so konzipiert, dass er eine kontaminationsarme und partikelfreie Umgebung bietet. Das Megatherm ™ -Nitridätzverfahren wird zum selektiven Ätzen von Siliziumnitrid ohne gleichzeitigem Ätzen des Siliziumdioxids verwendet.